Chinese researchers make EUV breakthrough
a year ago
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- 前ASML首席科学家林楠领导中国实现EUV光刻技术突破
- 中科院研究团队采用固态激光驱动方案取得世界级光刻成果
- ASML首席执行官克里斯托弗·富凯质疑中国快速制造EUV光刻机的能力
- 林楠2021年通过高层次人才引进计划回国
- 林楠创建的先进光刻技术研究组主导了本次技术突破
- 在ASML任职前，林楠曾获欧盟奖学金师从诺贝尔奖得主安妮·吕利耶